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美新半導體（MEMSIC）最新一代的磁傳感器MMC5603NJ是基于先進的AMR技術(shù)的單芯片集成的三軸磁傳感器，晶圓級封裝, 是世界上迄今已知最小尺寸（0.8x0.8x0.4mm）的磁傳感器。多項美新所獨有的新技術(shù)和新工藝被應用在MMC5603NJ這顆磁傳感器上。

1、高度集成的單芯片設計

早期的MEMS磁傳感器需要兩個MEMS的Die(一個感測X/Y軸的磁場，另一個感測Z軸磁場)和一個用來處理信號的ASIC的Die。這樣的設計結(jié)構(gòu)復雜、體積大、且成本高。隨著設計和制造工藝技術(shù)的進步，Die體積越來越小，但一般還是需要一個MEMS的Die和一個ASIC的Die。

美新采用專有的技術(shù)，將MEMS技術(shù)和標準的CMOS工藝完美結(jié)合，直接在ASIC材料表面集成了AMR磁阻材料，并采用獨創(chuàng)的斜坡結(jié)構(gòu)來感測Z軸方向的磁場信號。這樣高度集成的單芯片設計，并采用了晶圓級的封裝，鑄成了業(yè)界最小尺寸的三軸磁傳感器。

2、數(shù)倍或數(shù)十倍領(lǐng)先于同級別產(chǎn)品 

磁傳感器在電子設備中最常見的應用是感測地球磁場的方向，我們將此應用稱為電子羅盤（eCompass）。電子羅盤容易受到周圍環(huán)境中各類的軟磁和（或）硬磁的磁場干擾而造成方向失準。

對此，美新在軟件方面提供了成熟的、可定制的算法來校準方向。然而，當干擾磁場非常大的時候，磁感應元件內(nèi)部會殘留明顯的剩磁，軟件校準算法對此無能為力；

MMC5603NJ在芯片設計上使用了Auto Set/Reset的機制。此機制是在磁感應元件的敏感極上進行正反兩個方向上的成對操作，可以消除磁傳感器內(nèi)部固有的offset，并且抵消時間、溫度等變化等因素帶來的漂移。

MMC5603NJ的溫漂只有±0.01μT/℃，遠低于同類產(chǎn)品。因此，MMC5603NJ能在各種苛刻的使用環(huán)境下保持始終如一的測量精度和穩(wěn)定可靠的性能。

此外，MMC5603NJ還提供了20/18/16位的可選擇的靈敏度，最高可達1000Hz的數(shù)據(jù)輸出速率，RMS噪聲水平最低為0.15μT，磁滯僅為0.02%，使得快速校準甚至免校準的電子指南針成為可能...

以上主要性能參數(shù)，與市場上同級別產(chǎn)品相比較，MMC5603NJ保持數(shù)倍或數(shù)十倍的領(lǐng)先。

小結(jié)

美新深耕磁傳感技術(shù)多年，在基于AMR技術(shù)的磁傳感器的設計、制造和應用等方面積累深厚,并且還首創(chuàng)將高性能的AMR磁傳感器引入智能手機市場。

作為全新一代基于AMR技術(shù)的三軸磁傳感器，美新的MMC5603NJ已廣泛應用于智能手機、平板電腦等眾多消費類電子產(chǎn)品中，也是目前全球出貨量最大的基于AMR技術(shù)的磁傳感器之一。